中国首创刻蚀技术被全球抄作业
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近日，中微公司董事长尹志尧在《对话》节目中表示，中微能打破国际巨头对刻蚀机市场的垄断，核心在于两项首创技术：一是甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，如今已成为全球CCP刻蚀机的通用标准；二是双台机设计，可节省超30%材料成本，兼具性价比与高性能优势。
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